隨著自動(dòng)化測(cè)量技術(shù)的發(fā)展，測(cè)量顯微鏡在傳統(tǒng)的基礎(chǔ)上有了較大的改變，主要表現(xiàn)在兩個(gè)方面：一是成像瞄準(zhǔn)系統(tǒng)已發(fā)展為使用CCD(ChargeCoupledDevice)成像瞄準(zhǔn)技術(shù)。所成的像通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)傳送到計(jì)算機(jī)并顯示出來(lái)，這種成像方式比原來(lái)在目鏡視場(chǎng)中所形成的圖像更加直觀(guān)清晰，大大降低了對(duì)線(xiàn)瞄準(zhǔn)誤差：二是讀數(shù)裝置由原來(lái)的玻璃線(xiàn)紋尺變?yōu)楣鈻懦哂?jì)數(shù)。所得的數(shù)據(jù)直接傳到計(jì)算機(jī)，通過(guò)特定的軟件程序自動(dòng)評(píng)定計(jì)算。不僅消除了人員的讀數(shù)誤差，同時(shí)還大幅度地提高了測(cè)量效率。

　　測(cè)量顯微鏡是采用用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)及科學(xué)研究等部門(mén)。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量；采用雙筒目鏡觀(guān)察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線(xiàn)照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。

　　MF測(cè)量顯微鏡特點(diǎn)可觀(guān)察清晰無(wú)閃光正像，且視場(chǎng)開(kāi)闊。測(cè)量精度在同類(lèi)設(shè)備中Z高（符合JISB7153標(biāo)準(zhǔn)）。使用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的FS光學(xué)系列高NA物鏡（長(zhǎng)工作距離型）。金相顯微鏡和測(cè)量顯微鏡的功能相結(jié)合，提供了高分辨率觀(guān)察和高精度測(cè)量的方法。照明裝置（反射／透射）可選用高亮度LED燈泡或鹵素?zé)襞荩ū剡x）。利用可變孔徑光闌（反射／透射）可進(jìn)行無(wú)衍射觀(guān)察測(cè)量。